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Model ESA系列
羅茨真空泵 抽氣速度：30,000L/min 適合輕制程 Model ESA系列是新研發(fā)的獨特干式真空泵，具有優(yōu) 越的高速排氣性能，從而適應(yīng)了LCD濺射制膜 裝置，真空干燥制程，大型 L/L等工藝要求。并擁有高附加價值，對應(yīng)氣體 負荷自動控制轉(zhuǎn)速，高通信功能等。
特點:
● 適用于大型真空反應(yīng)室的高速排氣
● 具有高性能通信機能
● 轉(zhuǎn)速自動調(diào)節(jié)功能
● 采用高度控制泵運轉(zhuǎn)方式
● 采用大口徑轉(zhuǎn)子，設(shè)計上完美小型
● 不產(chǎn)生真空泵大型化所引起的搬運性能降低
● 也可用于有機溶劑排氣上用的特別規(guī)格
| Model ESA系列 | ||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Model | ESA15-D | ESA25-D | ESA70W(-D) ESA70WN(-D) | ESA80W-HDF ESA80WN-HDF | ESA100W ESA100WN | ESA200W | ESA300W | ESA500W |
Pumping-Speed (L/min)(50Hz/60Hz) | 1,400/1,700 | 2,500/3,000 | 7,000/8,400 | 8,400 | 10,000 | 20,000 | 28,000/30,000 | 47,000/50,000 |
*Typical Application | MO-CVD -Large volume load lock- Other clean vacuum | |||||||
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