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Model EST系列
螺旋式真空泵 抽氣速度：2,500-50,000L/min 適用于生成物較多的重制程 Model EST系列是新研發(fā)的獨特干式真空泵，采用了螺旋式轉(zhuǎn)子，適用于生成物較多的CVD制程。 具有高附加價值：容許流入氣體量大，耐腐蝕性，可調(diào)節(jié)排氣速度，高通信處理功能，適應(yīng)了 電力功耗低的工藝要求。
特點:
● 適用于生成物較多的制程
● 具備高性能通信功能
● 排氣速度快，容許流入氣體量大
● 采用高度控制泵運轉(zhuǎn)方式
● 轉(zhuǎn)速自動調(diào)節(jié)功能
● 不產(chǎn)生真空泵大型化所引起的搬運性能降 低的問題
● 可對應(yīng)腐蝕性氣體
Model EST系列 | ||||||
Model | EST10N | EST25N | EST100WN | EST200WN | ESR300WN | EST500W |
Pumping Speed (L/min) | 1,000 | 2,500 | 10,000 | 20,000 | 30,000 | 50,000 |
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