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Model ESR系列
羅茨式干式真空泵 抽氣速度：1,300 – 30,000L/min ESR系列是新研發(fā)的應(yīng)用廣泛的羅桿式干式真空泵，對(duì)于L/L，SEM等較輕負(fù)荷的制程和腐蝕性制程都可以使用。 性能上具有 排氣速度可調(diào)節(jié)，高通信處理功能，從而適應(yīng)了省功耗，占地面積小，重量輕的工藝要求。
特點(diǎn):
● 適合用于輕負(fù)荷的制程及腐蝕性氣體制程
● 較低的運(yùn)行成本，省功耗，大可節(jié)省60%（與本公司Model AA系列相比較）
● 無需N2來做軸密封（Model ESR20N）
● 小型化，重量輕，大減少40%（ 與本公司Model AA系列相比較）
● 增加泵的轉(zhuǎn)速控制
● 高性能的通信機(jī)能
● 采用高度控制泵的運(yùn)轉(zhuǎn)方式
Model ESR系列 | |||||
型號(hào) | 單位 | ESR20N | ESR80WN | ESR200WN | ESR300WN |
抽氣速度 50/60 Hz | L/min | 1,300 – 2,000 | 4,000 – 8,500 | 10,000 – 20,000 | 30,000 |
底壓 50/60 Hz | Pa | 0.67 | 0.2 | 0.13 | 0.2 |
到達(dá)底壓 時(shí)的功率 | KW | 0.55 – 0.70 | 0.8 – 1.9 | 0.8 – 1.1 | 2.9 |
外型尺寸 | mm | 635 x 280 x 320 | 660 x 380 x 655 | 790 x 380 x 644 | 825 x 460 x 880 |
重量 | kg | 90 | 180 | 250 | 390 |
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