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TURBOVAC MAG磁懸浮分子泵
TURBOVAC MAG 磁懸浮分子泵
TURBOVAC MAG W 300/400/600/700 P/iP 復(fù)合分子泵
TURBOVAC MAG INTEGRA W 1300 iP(L) 至 2201 iP(L)
TURBOVAC MAG 磁懸浮分子泵
TURBOVAC MAG系列耐腐蝕磁懸浮分子泵，適用于從10-1 mbar(0.75 x 10-1Torr)至10-10 mbar(0.75 x 10-10 Torr)的壓
強范圍。對空氣的抽速從300 l x s-1(進氣口法蘭直徑 = 100mm(3.94in.))至3200 l x s-1(進氣口法蘭直徑 = 320mm(12.6in.))不等。
TURBOVAC MAG泵常用于半導(dǎo)體工業(yè)，例如蝕刻、CVD、PVD和離子注入，也就是需要抽除腐蝕性氣體的應(yīng)用
條件。
TURBOVAC MAGiNTEGRA系列
TURBOVAC MAGiNTEGRA系列磁懸浮分子泵是集現(xiàn)代真空科技之大成的新產(chǎn)品！
它設(shè)計精良，性能優(yōu)異，可靠耐用是高真空應(yīng)用的睿智選擇。新的主動定位五軸磁懸浮技術(shù)與萊寶真空專有抗沖擊
設(shè)計相結(jié)合， 保證了T U R B O V A CMAGiNTEGRA系列分子泵既保持了磁懸浮分子泵無磨損的優(yōu)勢又延續(xù)了萊寶分子泵耐沖擊的一貫特性。
TURBOVAC MAGiNTEGRA系列分子泵適合短節(jié)拍大氣載的應(yīng)用，可幫助客戶縮短工藝節(jié)拍，提高工作效率。非常適合電子顯微鏡，玻璃鍍膜、工業(yè)和科研等應(yīng)用。
TURBOVAC MAC產(chǎn)品線的優(yōu)勢是：
- 無碳氫化合物，可以實現(xiàn)清潔的高真空和超高真空條件；
- 任何安裝方向都具有高性能
- 運行高度可靠
- 振動極低
- 防腐蝕版可以抽除腐蝕性氣體
- 免維護
TURBOVAC MACiNTEGRA產(chǎn)品線的優(yōu)勢是：
- 全集成磁懸浮分子泵，即插即用
- 在同級別產(chǎn)品中，性能佳
- 適應(yīng)客戶的空間要求，集成控制器的位置可以在側(cè)面或者底部
- 適合工業(yè)應(yīng)用，保護等級IP54
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